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QXJ系列自動(dòng)有機(jī)清洗機(jī)

QJJ系列自動(dòng)清洗機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、半導(dǎo)體材料、LED等行業(yè)芯片制造過(guò)程中各蝕刻工序后自動(dòng)去膠工藝。

多年來(lái)，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

關(guān)鍵詞：

分類(lèi)：

服務(wù)熱線：

產(chǎn)品描述
詳細(xì)參數(shù)

QXJ系列自動(dòng)清洗機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、半導(dǎo)體材料、LED等行業(yè)芯片制造過(guò)程中各蝕刻工序后自動(dòng)去膠工藝。
清洗對(duì)象

硅晶片、藍(lán)寶石晶片、砷化鎵晶片、鍺晶片、碳化硅晶片、磷化銦晶片、石英晶片等。

晶片尺寸

2"-12"

應(yīng)用工藝

顯影、蝕刻、去光阻清洗、去蠟清洗、精密清洗、光罩去光阻清洗、RCA清洗等

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所成立于1962年，是我國(guó)以智能制造、微電子裝備及應(yīng)用、碳化硅裝備及應(yīng)用、新能源裝備及應(yīng)用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來(lái)，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

二所是科技部“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）”、科技部“國(guó)家科技合作基地”、工信部“智能制造試點(diǎn)示范”、國(guó)防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導(dǎo)體制備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來(lái)，獲得國(guó)家、省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)11項(xiàng)。

站在新的歷史起點(diǎn)，二所將以人工智能和半導(dǎo)體技術(shù)為核心，強(qiáng)化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應(yīng)用為主的產(chǎn)業(yè)鏈，實(shí)施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計(jì)劃，不斷提升核心競(jìng)爭(zhēng)力和盈利能力，形成良好可持續(xù)的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢(shì)。

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