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打贏“六場戰(zhàn)役 ”| 晶圓鍵合設(shè)備突破關(guān)鍵技術(shù),實現(xiàn)批量交付!

發(fā)布時間:

2025-05-23


概要:

   錨定價值創(chuàng)造,提升競爭能力。近期以來,2所各部門固本培元、蓄勢聚能,以集團公司責(zé)任書、電科裝備部署和2所差異化改革目標(biāo)為重點任務(wù),奮力打贏科技創(chuàng)新攻堅戰(zhàn)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展陣地戰(zhàn)、經(jīng)營工作主動戰(zhàn)、深化改革持久戰(zhàn)、風(fēng)險防范保衛(wèi)戰(zhàn)、共建共享全域戰(zhàn)“六場戰(zhàn)役”,推進高質(zhì)量發(fā)展行穩(wěn)致遠。

   近日,由微電子裝備二部自主研發(fā)的晶圓鍵合設(shè)備成功突破系列關(guān)鍵模塊的技術(shù)瓶頸,實現(xiàn)多款設(shè)備的批量交付。這一里程碑式突破,不僅標(biāo)志著團隊在先進封裝設(shè)備領(lǐng)域取得了重大進展,更為先進封裝系列設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實的基礎(chǔ)。

   晶圓鍵合技術(shù)是先進封裝的核心環(huán)節(jié),而鍵合工藝、對準(zhǔn)精度等技術(shù)一直是行業(yè)難點。晶圓鍵合研發(fā)團隊通過創(chuàng)新材料優(yōu)化與工藝參數(shù)調(diào)控,成功突破陽極鍵合等工藝的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,實現(xiàn)了鍵合強度的顯著提升與表面缺陷的有效控制。通過優(yōu)化視覺算法與機械傳動結(jié)構(gòu),將半自動晶圓鍵合設(shè)備對準(zhǔn)精度提升至國內(nèi)領(lǐng)先水平,更好滿足MEMS、微系統(tǒng)等器件對高精度鍵合的需求,為客戶搶占技術(shù)制高點提供有力支撐。


   展望未來,微電子裝備二部將始終以客戶需求為導(dǎo)向,持續(xù)推進設(shè)備研發(fā)及迭代升級,推動鍵合設(shè)備向更高精度、更高效率方向發(fā)展,奮力打贏科技創(chuàng)新攻堅戰(zhàn)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展陣地戰(zhàn),持續(xù)提升核心競爭力,為國內(nèi)先進封裝裝備發(fā)展貢獻力量。

關(guān)鍵詞:


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